Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель MS40Dry

Изготовитель: Vacuum Instrument Corporation, USA

Минимально регистрируемый поток гелия, не более 1x10^-12 в режиме вакуумных испытаний
В режиме щупа не более 6x10^-11
Диапазон измерений по потоку, м³*Па/сек: 1x10^-4 - 1x10^-12
Разрешение спектрометра по Не₄: 14